При выборе мишени для распыления титана необходимо учитывать несколько факторов.Мы также обсудим преимущества и недостатки различных мишеней для распыления титана.
Доступны индивидуальные мишени для распыления титана.
Мишени для распыления титана бывают разных размеров, чистоты и цен.Вы можете выбрать тот, который подходит для ваших нужд, исходя из свойств материала.Титан используется в производстве многих материалов, в том числе металла.Мишени для распыления титана изготавливаются с помощью усовершенствованного процесса горячего изостатического прессования.Они широко используются в покрытиях плоских дисплеев, декоративных покрытиях и полупроводниковых компонентах.В отличие от других металлических мишеней, мишени для распыления алюминия из титана однородны по микроструктуре.
Содержание примесей в титановой мишени
Характеристики напыленных пленок во многом зависят от чистоты титановой мишени.Чем выше чистота, тем меньше примесных элементов будет в пленке и тем меньше вероятность появления дефектов.Как правило, титановые мишени, используемые для декоративных покрытий, не очень требовательны к чистоте.Однако для устройств, которым требуются высокопроизводительные электронные компоненты, такие как интегральные схемы и дисплеи, уровень чистоты имеет решающее значение.Примесные элементы и пористые включения являются основными источниками загрязнения титановых мишеней.
Мишень из высококачественного титана сведет к минимуму количество загрязнений и предотвратит явления аномального разряда.Он также стабилизирует характеристики распыления и препятствует образованию частиц во время осаждения.В результате высококачественные мишени из титана будут полезны при формировании тонких пленок для электронных устройств.Титановые мишени имеют твердость по Шору 20 или выше и коэффициент ориентации базисной плоскости 70% или меньше.Они также очень прочны и могут выдержать результаты испытаний на растяжение до 2%.
Плотность титановой мишени влияет на электрические и оптические свойства
Оптические и электрические свойства материала мишени зависят от его плотности.В настоящем исследовании мы рассмотрели влияние плотности мишени из титана.Плотность мишени определялась путем измерения удельного сопротивления ее поверхности в нескольких точках.Результаты этого исследования показали, что титановая пленка намного плотнее окружающего воздуха.Этот результат объясняется увеличением плотности мишени.
Было замечено, что плотность мишени не влияет на скорость осаждения и структурные свойства, но влияет на образование целевых конкреций.Плотность мишени зависит от температуры подложки, и увеличение плотности мишени снижает коэффициент пропускания и удельное сопротивление подложки в видимом спектре.Дальнейшие исследования покажут, влияет ли плотность мишени на оптические и электрические свойства мишени.
Способ изготовления
Титановая мишень Метод изготовления титановой мишени включает плавление необработанного титанового материала и отливку расплавленного супа для получения чистого слитка.После того, как заготовка отлита, она проходит первую термическую обработку и процесс, называемый сохранением тепла.Следующий этап включает вторую термическую обработку, в результате которой образуется вторая заготовка, которая затем подвергается холодной прокатке.Этот процесс уменьшает размер зерна и твердость, а также увеличивает пластичность.
Высококачественная титановая мишень может уменьшить количество примесей, стабилизировать свойства распыления и предотвратить образование частиц в процессе осаждения.С момента появления полупроводниковых технологий было разработано бесчисленное множество электронных устройств.По мере развития технологий эти устройства становились все более совершенными и полезными.Процесс производства титановых мишеней имеет решающее значение для обеспечения максимально возможного качества этих продуктов.Процесс напыления и осаждения позволяет производить различные тонкие пленки, в том числе для электронных устройств.
