1. Чистота
Чистота
титановая мишень оказывает большое влияние на характеристики напыляемого покрытия.Чем выше чистота титановой мишени, тем меньше частиц примесных элементов в напыленной титановой пленке, что приводит к лучшим характеристикам покрытия PVD, включая лучшую коррозионную стойкость, а также лучшие электрические и оптические свойства.Однако в практических приложениях титановые мишени разного назначения предъявляют разные требования к чистоте.Материал мишени используется в качестве катодного источника при напылении, а примесные элементы и пористые включения в материале являются основными источниками загрязнения осаждаемой пленки.Устьичные включения в основном удаляются в процессе неразрушающего контроля слитков.Неудаленные устьичные включения будут вызывать выделения в процессе напыления, что повлияет на качество пленки;а содержание примесных элементов может быть отражено только в результатах испытаний полного элементного анализа., чем ниже общее содержание примесей, тем выше чистота титановой мишени.
2. Средний размер зерна
Обычно титановая мишень имеет поликристаллическую структуру, а размер зерен может варьироваться от микрометров до миллиметров.Скорость распыления мелкозернистой мишени выше, чем у крупнозернистой.Распределение толщины пленки, нанесенной методом дробеструйного осаждения, также является более равномерным.Исследование показало, что если размер зерна титановой мишени контролируется ниже 100 мкм, а изменение размера зерна поддерживается в пределах 20%, качество напыленной пленки может быть значительно улучшено.
3. Ориентация кристалла
Титан имеет плотноупакованную гексагональную структуру.Поскольку атомы титановой мишени легко распыляются вдоль гексагонального направления плотной упаковки атомов во время распыления, для достижения более высокой скорости распыления можно изменить кристаллическую структуру мишени, изменив метод.увеличить скорость распыления.Кристаллографическое направление титановой мишени также оказывает большое влияние на однородность толщины напыленной пленки.
PVD-покрытие
4. Структурная однородность
Структурная однородность также является одним из важных показателей для проверки качества мишени.Для титановых мишеней требуется не только плоскость распыления мишени, но и состав нормального направления, ориентация зерен и однородность среднего размера зерен плоскости распыления.Только таким образом титановая мишень может получить титановую пленку с одинаковой толщиной, надежным качеством и постоянным размером зерна в то же время в течение всего срока службы.
5. Геометрия и размер
В основном это отражается на точности и качестве обработки, таких как размер обработки, плоскостность поверхности, шероховатость и т. Д. Если отклонение угла установочного отверстия слишком велико, его нельзя установить правильно;если толщина слишком мала, это повлияет на срок службы мишени;если поверхность уплотнения и канавка уплотнения слишком грубые, это вызовет проблемы с вакуумом после установки мишени, что серьезно приведет к утечке воды;разбрызгивание мишени. Придание шероховатости поверхности может сделать поверхность мишени покрытой обильными приподнятыми наконечниками.Под действием эффекта острия потенциал этих приподнятых острия будет сильно возрастать, тем самым разрушая диэлектрический разряд, но чрезмерно большие выпуклости ухудшают качество и стабильность напыления.
